HPS Reinstgasmanometer mit Reed-Kontakt

HPS Reinstgasmanometer mit Reed-Kontakt

Das Reinstgasmanometer Ashcroft® 50 mm HPS mit Reed-Kontakt ist ultraschallgereinigt und überzeugt durch außergewöhnliche Qualität und Zuverlässigkeit in ultrahochreinen Gasversorgungssystemen. Die Edelstahlkonstruktion eignet sich besonders für den Einsatz mit Industriegasen in der Halbleiter- und Elektronikfertigung. Die Reed-Schalter-Funktion ist ein zusätzliches Sicherheitsmerkmal. Ein interner Schalter wird bei Alarm oder Prozessänderung auslöst. Dieses hochreine Manometer senkt die Installationskosten und reduziert den Platzbedarf.

Hauptmerkmale

100% Helium-Lecktest

Messstoff berührte Teile aus Edelstahl 1.4404/316L

Im Reinraum Class 10,000/ISO Klasse 7 gereinigt

Polyethylenversiegelt nach Stickstoffbegasung

Märkte und Anwendungen

Maschinen-Automatisierung

Halbleiterindustrie

Reinstgas-Versorgungssysteme

Gaszylinder

Prozessgas-Analysegeräte

Flaschenkabinette

Abgassysteme für CVD- und Ätzanlagen

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Oberflächenvergütung

<0,38 μm Ra

Druckart

Überdruck

Nenngröße Prozessanschluss

¼ NPT

G ¼

Bauart Schalter

Reed-Kontakte SPST oder SPDT

Messbereiche

4 ... 210 bar

Genauigkeit

5% der Messspanne für Schaltwert

1,6% der Messspanne (Klasse 1,6)

Prozessanschluss Bauart

Geschraubt

Montageart

Direktmontage

Prozessanschlusslage

Unten

Werkstoff Gehäuse

Edelstahl 1.4301 (304)

Gehäuseausführung

Topfgehäuse

Werkstoff Messstoff-berührte Teile

Edelstahl 1.4404 (316L)

Nenngröße

50 mm

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